お客様導入事例
シリコンウェハの洗浄(スライス工程)
ユーテック導入の目的 | すすぎ液中の洗浄剤分離 |
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ユーテック導入の期待効果 | すすぎ液の寿命延長、シリコンウェハの油再付着防止 |
被洗浄物 | シリコンウェハ |
汚れの種類 | 切削油 |
洗浄剤の種類 | 準水系洗浄剤 |
洗浄剤の使用温度 | 60℃ |
油水分離装置の型式(処理流量) | TH-30 (5L/min) |
導入の流れ
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