お客様導入事例

EUTEC FS産業洗浄半導体

シリコンウェハの洗浄(スライス工程)

ユーテック導入の目的 すすぎ液中の洗浄剤分離
ユーテック導入の期待効果 すすぎ液の寿命延長、シリコンウェハの油再付着防止
被洗浄物 シリコンウェハ
汚れの種類 切削油
洗浄剤の種類 準水系洗浄剤
洗浄剤の使用温度 60℃
油水分離装置の型式(処理流量) TH-30 (5L/min)

導入の流れ

※その他の洗浄用途設置フローはこちら

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