お客様導入事例

液晶パネル製造における前洗浄工程での異物除去

ユーテック導入の目的	基板洗浄における洗浄剤・純水からの異物除去
ユーテック導入の期待効果	基板表面の清浄性を維持できる
対象液	アルカリ洗浄剤、純水
フィルター例	使用箇所 ろ過精度 旭化成モデル 洗浄液、薬液 0.2～1μm KYS、KNAタイプ 循環フィルタ 1～2μm KPAタイプ

導入の流れ

※その他の洗浄用途設置フローはこちら

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