EUTEC

NANO®

ユーテックナノ®

サブミクロンオーダーの微小異物除去から、
ゲル状物質除去•分級まで可能な高精度フィルター

ナノオーダー繊径の不織布を使用し、サブミクロン領域においても高ろ過精度を発揮します。カートリッジだけでなく、処理流量に合わせてカプセルタイプ、ディスクタイプもございますのでお気軽にお問い合わせください。

FEATURES

極細不織布プリーツフィルター

高粘度液体(レジスト、フィルム等)のサブミクロンろ過・分級・ゲルろ過

  • 最小で0.3μm繊維径の極細不織布を採用、サブミクロン領域における高精度・低圧損ろ過を実現、高粘度液体のろ過生産性(速度)を向上します。
  • 一体成型、ノーバインダ、長繊維不織布仕様のため、繊維の離脱やバインダの溶出がありません。
  • 製品は厳しい品質管理の下、全数完全性試験を行っています。
  • 主用途

    • 効果的なゲル状物濾過が可能
    • 砥粒、微粒子の分級
    • レジスト、現像液、エッチング液、剥離液の循環濾過
    • サブミクロン捕集のプレフィルターにも最適
  • 構成部材・材質

    構成部材材質
    ①フィルターメディアポリプロピレン(PP)
    ②メディアサポートポリプロピレン(PP)
    ③センターコアポリプロピレン(PP)
    ④アウターガードポリプロピレン(PP)
    ⑤エンドキャップポリプロピレン(PP)
    ⑥シール別記
  • 仕様

    <ポリプロピレン KPXシリーズ>

    K7シリーズ003005010
    ろ過精度[μm]
    0.3 0.5 1.0
    寸法 全長
    シールF:10inch(253mm)20inch(503mm)30inch(753mm)
    シールF(P):10inch(255mm)20inch(505mm)30inch(755mm)
    シールP:10inch(271mm)20inch(521mm)30inch(771mm)
    シールM:10inch(266mm)20inch(516mm)30inch(766mm)
    外径[mm]
    70
    内径[mm]
    27
    ろ過面積[cm2]
    4,200 6,300 6,800
    耐熱[μm]
    80
    耐圧(常温)[μm]
    0.49

    <ポリプロピレン KPAシリーズ>

    型式008010020
    絶対ろ過制度(μm)0.81.02.0
    材質(フィルター/内外筒)PP/PP
    寸法10,20,30inch✕70Φ
    ろ過面積(cm2510061006400
    耐熱/耐圧80℃/0.49MPa

    <ナイロン KNAシリーズ>

    型式005010020
    絶対ろ過制度(μm)0.51.02.0
    材質(フィルター/内外筒)Nylon 6/PP
    寸法10,20,30inch✕70Φ
    ろ過面積(cm2570058006400
    耐熱/耐圧80℃/0.49MPa

FEATURES

極細不織布デプスプリーツフィルター

多層の粗密構造ろ材をプリーツ化し、デプス構造とプリーツ構造の長所を融合、低圧損と高寿命を実現します。

  • メンブレン同等の捕集効率を有する信頼性の高いフィルター
  • 不織布特有の内部空隙を有する構造なので、捕集物による閉塞が起こりにくく、高寿命。
  • ノーバインダー、低溶出のフィルター
  • 効果的なゲル状物濾過が可能
  • 主用途

    • カラーレジスト濾過
    • 高粘度流体濾過
    • 砥粒、微粒子の分級(研磨剤、CMPスラリー、電極スラリー)
  • 仕様

    <ポリプロピレンKPDシリーズ>

    型式010020
    絶対ろ過制度(μm)1.02.0
    材質(フィルター/内外筒)PP/PP
    寸法10,20,30inch✕70Φ
    ろ過面積(cm224002700
    耐熱/耐圧80℃/0.49MPa

    <ナイロン KNDシリーズ>

    型式005010
    絶対ろ過制度(μm)0.51.0
    材質(フィルター/内外筒)Nylon 6/PP
    寸法10,20,30inch✕70Φ
    ろ過面積(cm221002500
    耐熱/耐圧80℃/0.49MPa