EUTEC
NANO®
ユーテックナノ®
サブミクロンオーダーの微小異物除去から、
ゲル状物質除去•分級まで可能な高精度フィルター
ナノオーダー繊径の不織布を使用し、サブミクロン領域においても高ろ過精度を発揮します。カートリッジだけでなく、処理流量に合わせてカプセルタイプ、ディスクタイプもございますのでお気軽にお問い合わせください。
LINE UP
製品ラインアップ
FEATURES
極細不織布プリーツフィルター
高粘度液体(レジスト、フィルム等)のサブミクロンろ過・分級・ゲルろ過
- 最小で0.3μm繊維径の極細不織布を採用、サブミクロン領域における高精度・低圧損ろ過を実現、高粘度液体のろ過生産性(速度)を向上します。
- 一体成型、ノーバインダ、長繊維不織布仕様のため、繊維の離脱やバインダの溶出がありません。
- 製品は厳しい品質管理の下、全数完全性試験を行っています。
-
主用途
- 効果的なゲル状物濾過が可能
- 砥粒、微粒子の分級
- レジスト、現像液、エッチング液、剥離液の循環濾過
- サブミクロン捕集のプレフィルターにも最適
-
構成部材・材質
構成部材 材質 ①フィルターメディア ポリプロピレン(PP) ②メディアサポート ポリプロピレン(PP) ③センターコア ポリプロピレン(PP) ④アウターガード ポリプロピレン(PP) ⑤エンドキャップ ポリプロピレン(PP) ⑥シール 別記 -
仕様
<ポリプロピレン KPXシリーズ>
K7シリーズ 003 005 010 ろ過精度[μm]0.3 0.5 1.0 寸法 全長 シールF: 10inch(253mm) 20inch(503mm) 30inch(753mm) シールF(P): 10inch(255mm) 20inch(505mm) 30inch(755mm) シールP: 10inch(271mm) 20inch(521mm) 30inch(771mm) シールM: 10inch(266mm) 20inch(516mm) 30inch(766mm) 外径[mm]70 内径[mm]27 ろ過面積[cm2]4,200 6,300 6,800 耐熱[μm]80 耐圧(常温)[μm]0.49 <ポリプロピレン KPAシリーズ>
型式 008 010 020 絶対ろ過制度(μm) 0.8 1.0 2.0 材質(フィルター/内外筒) PP/PP 寸法 10,20,30inch✕70Φ ろ過面積(cm2) 5100 6100 6400 耐熱/耐圧 80℃/0.49MPa <ナイロン KNAシリーズ>
型式 005 010 020 絶対ろ過制度(μm) 0.5 1.0 2.0 材質(フィルター/内外筒) Nylon 6/PP 寸法 10,20,30inch✕70Φ ろ過面積(cm2) 5700 5800 6400 耐熱/耐圧 80℃/0.49MPa
FEATURES
極細不織布デプスプリーツフィルター
多層の粗密構造ろ材をプリーツ化し、デプス構造とプリーツ構造の長所を融合、低圧損と高寿命を実現します。
- メンブレン同等の捕集効率を有する信頼性の高いフィルター
- 不織布特有の内部空隙を有する構造なので、捕集物による閉塞が起こりにくく、高寿命。
- ノーバインダー、低溶出のフィルター
- 効果的なゲル状物濾過が可能

-
主用途
- カラーレジスト濾過
- 高粘度流体濾過
- 砥粒、微粒子の分級(研磨剤、CMPスラリー、電極スラリー)
-
仕様
<ポリプロピレンKPDシリーズ>
型式 010 020 絶対ろ過制度(μm) 1.0 2.0 材質(フィルター/内外筒) PP/PP 寸法 10,20,30inch✕70Φ ろ過面積(cm2) 2400 2700 耐熱/耐圧 80℃/0.49MPa <ナイロン KNDシリーズ>
型式 005 010 絶対ろ過制度(μm) 0.5 1.0 材質(フィルター/内外筒) Nylon 6/PP 寸法 10,20,30inch✕70Φ ろ過面積(cm2) 2100 2500 耐熱/耐圧 80℃/0.49MPa
LINE UP