ユーテック ナノ®／KPA・KNAタイプ
ナノ不織布プリーツフィルター
[特長]
ナノオーダー繊径の不織布を使用し、サブミクロン領域においても高ろ過精度を発揮します。
- メンブレン同等の捕集効率を有する信頼性の高いフィルター
- 不織布特有の内部空隙を有する構造なので、捕集物による閉塞が起こりにくく、高寿命。
- ノーバインダー、低溶出のフィルター
- 効果的なゲル状物濾過が可能
[主用途]
- レジスト、現像液、エッチング液、剥離液の循環濾過
- 砥粒、微粒子の分級
- サブミクロン捕集のプレフィルターにも最適
[仕様]
KPA
| 型式 | 008 | 010 | 020 |
|---|---|---|---|
| 絶対ろ過精度 (μm) | 0.8 | 1.0 | 2.0 |
| 材質 (フィルター / 内外筒) | PP/PP | ||
| 寸法 | 10,20,30inch×70Φ | ||
| ろ過面積 (cm2) | 5100 | 6100 | 6400 |
| 耐熱／耐圧 | 80℃ / 0.49MPa | ||
KNA
| 型式 | 005 | 010 | 020 |
|---|---|---|---|
| 絶対ろ過精度 (μm) | 0.5 | 1.0 | 2.0 |
| 材質 (フィルター / 内外筒) | Nylon 6/PP | ||
| 寸法 | 10,20,30inch×70Φ | ||
| ろ過面積 (cm2) | 5700 | 5800 | 6400 |
| 耐熱／耐圧 | 80℃ / 0.49MPa | ||
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